Specijalni plinovi odnose se na binarne ili više{0}}komponentne smjese čistih plinova, plinova visoke-čistoće ili baznih plinova visoke-čistoće, koji imaju specifične zahtjeve čistoće, sastava ili performansi i primjenjuju se u određenim područjima.
Definicija: Specijalni plinovi imaju stroge zahtjeve za čistoću, sadržaj nečistoća, stabilnost i druge pokazatelje. Obično se pripremaju posebnim postupcima (kao što je kriogena destilacija, adsorpcija, membranska separacija itd.) kako bi se zadovoljile potrebe precizne proizvodnje ili znanstvenog istraživanja.
Klasifikacija: elektronički plinovi: upotrebljavaju se u industriji poluvodiča, zaslonskih ploča i drugoj elektroničkoj industriji, kao što je silan, amonijak visoke-čistoće i sumporov heksafluorid, a zahtijevaju iznimno visoku čistoću i veličinu čestica.
Plinovi visoke-čistoće: s čistoćom od 99,999% ili više, poput vodika visoke-čistoće i visoke{3}}helija čistoće, koji se koriste u laboratorijskim analizama, laserskoj tehnologiji i drugim poljima.
Standardni plinovi: Plinovi pomiješani u određenim omjerima, koji se koriste za kalibraciju instrumenata ili praćenje okoliša, kao što su standardne smjese koje sadrže ugljikov monoksid i sumporov dioksid.